G100U和G150U是乾曜光學(xué)新開(kāi)發(fā)的兩款正立式激光干涉儀工作站，有效口徑分別為101.6mm（4英寸）和152.4mm（6英寸）。可以測(cè)量平面面形、球面面形和曲率半徑，選配雙五維載物臺(tái)，可以測(cè)量透過(guò)波前和非球面的補(bǔ)償法測(cè)量。

G100D和G150D立式激光干涉儀的有效口徑分別為101.6mm（4英寸）和152.4mm（6英寸）。

G200M，G150M和G100M專為計(jì)量和科研需求設(shè)計(jì)，適用于計(jì)量機(jī)構(gòu)檢定和校準(zhǔn)光學(xué)平晶。其集高性能、長(zhǎng)壽命氦氖激光器，高清光學(xué)系統(tǒng)，1-6倍圖像放大功能和精密平面標(biāo)準(zhǔn)鏡等一系列高精技術(shù)，選配Sirius抗振移相干涉條紋分析軟件，實(shí)現(xiàn)高精密平面光學(xué)元件的測(cè)量。

G系列激光干涉儀定位高性價(jià)比的精密激光干涉儀，可以進(jìn)行平面面形、平行度、波前和材料均勻性，球面面形、曲率半徑以及光學(xué)系統(tǒng)波像差等幾乎所有的干涉測(cè)量，可測(cè)量材料包含玻璃、塑膠、陶瓷、硅片和拋光的金屬。