立式激光平面干涉儀為正立式結(jié)構(gòu)，通光口徑有200mm，150mm和100mm三種，正立式結(jié)構(gòu)兼容了平面元件的平放測量、拼盤測量和高精度測量。立式結(jié)構(gòu)比臥式測量效率更高。
G200M，G150M和G100M專為計(jì)量和科研需求設(shè)計(jì)，適用于計(jì)量機(jī)構(gòu)檢定和校準(zhǔn)光學(xué)平晶。其集高性能、長壽命氦氖激光器，高清光學(xué)系統(tǒng)，1-6倍圖像放大功能和精密平面標(biāo)準(zhǔn)鏡等一系列高精技術(shù)，選配Sirius抗振移相干涉條紋分析軟件，實(shí)現(xiàn)高精密平面光學(xué)元件的測量。
