G100、G150和G200激光干涉儀的有效口徑分別為101.6mm（4英寸）、152.4mm（6英寸）和200mm。菲索型的共光路設計結合Sirius抗振移相干涉條紋分析軟件實現(xiàn)高精度的面形和波前測量。可擴展成立式平面和倒立式球面等多種結構形式的干涉儀。