在有圖形晶圓缺陷檢測和無圖形晶圓表面缺陷檢測設備中，物鏡是技術要求最高最核心的部件，物鏡用于光刻對準和檢測以確保圖案的精確復制。物鏡具有高數(shù)值孔徑NA、短波長光源、高透射率和低畸變和多光譜成像等特點。數(shù)值孔徑（NA）越高，物鏡的分辨率越高，可以檢測更小的缺陷，可以收集更多的散射光，提高檢測的靈敏度；使用短波長光源（如深紫外光266nm，甚至更短的193nm），可以進一步提高分辨率和精度；結(jié)合不同波長的光源，進行多光譜成像，以識別不同類型的缺陷。
紫外激光干涉儀利用紫外激光作為光源，能夠綜合評估物鏡的波像差，相比于哈特曼傳感器具有更高的分辨率和測量精度，為晶圓缺陷檢測用物鏡的波像差測量提供了一種新的解決方案。乾曜光學提供266，355/360，457和532nm等多種波長的激光干涉儀，還有各種附件如超高精度透射平面標準鏡和球面標準鏡（PVr<12.65nm）、NA0.95高反射率球面反射鏡、調(diào)整架等，以輔助各種波長激光干涉儀的應用。
