嚴(yán)格情況下，要求按照元件的使用狀態(tài)測(cè)量，例如很多窗口、反射鏡和半導(dǎo)體晶圓等。素繪300U的通光口徑為300mm。為鏡頭上置、光路向下的結(jié)構(gòu)，適合對(duì)樣品的平放測(cè)量。