由于激光良好的相干性，平行平面光學(xué)元件測量時，光學(xué)元件前表面、后表面均會與干涉儀參考鏡產(chǎn)生干涉條紋，再加上前后表面之間的自身干涉條紋，會有三套干涉條紋混疊在一起。傳統(tǒng)的測量方式均無法直接分析這樣的干涉圖。通常在樣品背面涂抹一些油脂（類似凡士林），油脂的折射率接近1.5，與多數(shù)光學(xué)玻璃的折射率類似，可起到將背面打毛的效果，消除背面反射帶來的干擾條紋。然而這會帶來污染樣品表面的風(fēng)險，且對于高折射率光學(xué)玻璃，涂抹油脂的方法是無效的。

        多表面測量技術(shù)技術(shù)（MST）即是解決該難題的完美方案。多表面測量技術(shù)依托于波長調(diào)諧激光器，由于波長移相的特征是相移量與腔長相關(guān)，平行平面光學(xué)元件的每一組干涉條紋，均有一個與腔長相關(guān)的獨(dú)特頻率。乾曜光學(xué)的多表面測量算法通過分析一次采樣數(shù)據(jù)，能獨(dú)立地分離表征每個平行表面的形貌。也就是說，通過一次測量，直接得到光學(xué)鏡片前表面、后表面、光學(xué)厚度變化三個特征數(shù)值。