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臥式干涉儀球面測(cè)量系統(tǒng)
◇包含五維調(diào)整架,導(dǎo)軌系統(tǒng), 和光柵尺(測(cè)量曲率)。 ◇五維調(diào)整架附帶可調(diào)同軸透鏡座, 最大夾持Φ160mm。 ◇X,Y,Z精調(diào)行程均為25mm。 ◇±3°傾斜調(diào)整。
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