超精密球面反射標(biāo)準(zhǔn)鏡的表面面形經(jīng)過(guò)精密測(cè)量，可以認(rèn)為是絕對(duì)球面，凹凸面均可選擇。 球面反射標(biāo)準(zhǔn)鏡的數(shù)據(jù)文件儲(chǔ)存為Zygo干涉儀的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)格式，在Zygo干涉儀的數(shù)據(jù)中能夠移 除標(biāo)準(zhǔn)球面的誤差，這樣測(cè)試精度能夠達(dá)到PV<λ/[email protected]，定制產(chǎn)品可達(dá)到PV<λ/50@ 632.8nm.