干涉測量技術(shù)是以光波干涉原理為基礎進行測量的一門技術(shù)。與一般光學成像測量技術(shù)相比，干涉測量具有大量程、高靈敏度、高精度等特點。隨著激光技術(shù)的出現(xiàn)及其在干涉測量領(lǐng)域中應用，使干涉測量技術(shù)在量程、分辨率、抗干涉能力、測量精度等方面有了顯著的進步。
      從光學零件的質(zhì)量控制到光學系統(tǒng)的象質(zhì)評價，從經(jīng)典的光學技術(shù)到自適應光學工程，現(xiàn)代干涉測量技術(shù)的應用領(lǐng)域不斷擴展。另一方面，現(xiàn)代數(shù)字圖像處理技術(shù)、傳感器技術(shù)和計算機技術(shù)使干涉圖像判讀技術(shù)實現(xiàn)了計算機實時自動判讀，大大提高了干涉測量的精度和靈敏度
      干涉條紋是干涉場中光程差相同點的軌跡。根據(jù)干涉條紋的形狀、方向、疏密以及條紋移動等情況，可獲取被測量的有關(guān)信息。按光波分光的方法，干涉儀有分振幅式和分波陣面式兩類。按相干光束傳播路徑，干涉儀可分為共程干涉和非共程干涉兩種。
      按用途又可將干涉儀分為兩類，一類是通過測量被測面與參考標準波面產(chǎn)生的干涉條紋分布及其變形量，進而求得試樣表面微觀幾何形狀、場密度分布和光學系統(tǒng)波像差等，即所謂靜態(tài)干涉；另一類是通過測量干涉場上指定點干涉條紋的移動或光程差的變化量，進而求得試樣的尺寸大小、位移量等，即所謂動態(tài)干涉。