2024年9月25日-27日，上海乾曜光學(xué)科技有限公司誠(chéng)邀您參加 CSEAC 2024(第十二屆半導(dǎo)體設(shè)備與核心部件展示會(huì))，我們?cè)贏1-19展臺(tái)等您！

此次展會(huì)，乾曜光學(xué)將展出可用于測(cè)量半導(dǎo)體晶圓的“素繪”大口徑立式激光干涉儀。該干涉儀采用全新的光學(xué)設(shè)計(jì)，提高了系統(tǒng)傳函。平面度測(cè)量范圍達(dá)到150μm,幫助半導(dǎo)體等領(lǐng)域?qū)ζ矫娑群吐N曲度等的在線測(cè)量和控制。

“素繪”大口徑激光干涉儀

關(guān)于乾曜

上海乾曜光學(xué)科技有限公司（Shanghai Shineoptics Scientific Co., Ltd.）成立于2009年6月，坐落于上海市嘉定區(qū)。為高新技術(shù)企業(yè)、上海市科技小巨人（培育）企業(yè)、上海市“專精特新”中小企業(yè)。乾曜光學(xué)專注于光學(xué)測(cè)量?jī)x器的研制，為客戶提供中高端激光干涉儀及相關(guān)定制產(chǎn)品。立志通過(guò)不斷學(xué)習(xí)創(chuàng)新，成為優(yōu)秀的精密儀器制造商。

乾曜光學(xué)激光干涉儀口徑從5mm到600mm，波長(zhǎng)范圍從紫外266nm到近紅外1550nm，測(cè)量模式有抗振機(jī)械移相、抗振波長(zhǎng)移相和瞬態(tài)載波。乾曜光學(xué)“谷雨”牌球面拼接干涉儀，能夠測(cè)量口徑達(dá)300mm的球面凸透鏡，為國(guó)產(chǎn)首創(chuàng)產(chǎn)品。

乾曜光學(xué)激光干涉儀廣泛應(yīng)用于精密光學(xué)鏡頭和光學(xué)儀器的光學(xué)波像差測(cè)量、晶圓和真空吸盤(pán)的平面度測(cè)量。

隨著公司不斷成長(zhǎng)，目前具有年產(chǎn)700臺(tái)干涉儀的能力，累計(jì)銷(xiāo)售超過(guò)3000臺(tái)，結(jié)合完善的銷(xiāo)售渠道和售后服務(wù)，服務(wù)全國(guó)的科研院所，大學(xué)和企業(yè)，并銷(xiāo)往日本，韓國(guó)、美國(guó)和歐洲等地。