上海乾曜光學(xué)科技有限公司發(fā)布了3款平面干涉儀：150mm口徑的QY-P-150M和QY-P-150S，以及200mm口徑的QY-P-200，以及1等標(biāo)準(zhǔn)平晶。其中QY-P-150M和QY-P-200專為計(jì)量機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)，配合標(biāo)準(zhǔn)平晶，能夠滿足計(jì)量機(jī)構(gòu)對(duì)光學(xué)元件進(jìn)行鑒定和校準(zhǔn)的需求。
      QY-P-150M型平面干涉儀專為計(jì)量級(jí)測(cè)試的需求設(shè)計(jì)，適用于計(jì)量機(jī)構(gòu)檢定和校準(zhǔn)光學(xué)平晶。其集高性能、長(zhǎng)壽命氦氖激光器，1-6.7倍圖像放大功能，高精度的成像系統(tǒng)和圖像采集系統(tǒng)，精密平面標(biāo)準(zhǔn)鏡等一系列高精技術(shù)，通過優(yōu)化光學(xué)系統(tǒng)和機(jī)械系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)高精密平面光學(xué)元件的測(cè)量。選配靜態(tài)干涉條紋分析軟件，實(shí)現(xiàn)數(shù)字化測(cè)量。
      QY-P-150S為QY-P-150M的簡(jiǎn)化版本。
      QY-P-200型平面干涉儀為中國(guó)首款標(biāo)準(zhǔn)鏡有效口徑達(dá)到200mm的平面干涉儀，改善提高了大口徑光學(xué)系統(tǒng)和光學(xué)元件測(cè)試精度，彌補(bǔ)了國(guó)內(nèi)使用有效口徑150mm的干涉儀測(cè)試大尺寸光學(xué)系統(tǒng)和光學(xué)元件，不能全口徑測(cè)試的不足。