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60mm激光平面干涉儀
G60UP激光平面干涉儀通光口徑為60mm,鏡頭上置,儀器具備良好的隔振性能。
G60DP激光平面干涉儀通光口徑為60mm,鏡頭下置,用于平面元件的低量快速檢測。
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